반도체 공학/진공 공학1 2. 진공 펌프, 진공 게이지 (반도체 공정) 이번 포스팅은 진공 관련된 대략적인 이해와 이를 바탕으로 펌프 종류, 그리고 진공을 뽑은 이후의 진공도를 측정하는 게이지 관련하여 설명을 드리겠습니다. 반도체 공정 장비 내 진공이 필요한 이유는 다음과 같습니다.- 원하는 기능을 그대로 구현하기 위해 결함 없는 박막을 증착하기 위해서입니다. 예를 들어, 먼지들로 인해 공정 중 불량(short)이 생기지 않게 하기 위해 등등.. - 특정 압력에서 플라즈마를 띄우는 공정을 위해서입니다. - 금속의 녹는점을 낮추기 위해서입니다. 먼저, 챔버에 진공을 만드는 펌프에 대해 말씀을 드리겠습니다.진공 펌프 종류진공 펌프는 해당 범위의 진공도 제작에 용이한 저 진공 펌프, 고진공 펌프, 초고진공 펌프로 나뉩니다.1) 저진공 펌프저 진공 펌프는 Dry pump / Oil.. 2024. 10. 13. 이전 1 다음 반응형
