본문 바로가기

반도체 8대 공정/반도체 분석장비7

반도체 분석장비) Confocal 현미경 광학 현미경(OM)은 시료의 광범위한 영역에 빛을 조사하여, 반사된 모든 빛을 영상화합니다. 즉 초점이 안 잡힌 곳은 영상이 흐리거나 번져 보일 수 있다는 단점이 있습니다. 2차원의 이미지만을 얻을 수 있다는 것도 큰 단점이죠. OM Confocal 현미경 장비 간단함, 단순, 가격 쌈 보다 복잡함, 가격 비쌈 차웡 2차원 이미지 3차원 이미지 가능 영상화 초점 안 맞춰진 부분도 영상화 초점 맞춰진 부분만 영상화 ​Confocal 현미경 위 OM의 단점을 보완한 게Confocal 현미경입니다. 초점이 맞춰진 곳만 영상화를 진행하지요. 초점을 맞추는 영역을 지정하고, 그 영역만 Scanning 하여 영상화가 진행됩니다. 즉, OM과 다르게 정해진 영역에 있어 뚜렷하게 영상화가 가능하지요. 정해진 위치에 따.. 2023. 1. 6.
반도체 분석장비) EL 장비 (광학적 특성 측정 방식) 저번 시간에 광학적 특성 방식의 Photo Luminescence 장비를 실습하였습니다. Luminescence 관련 이론 등은 바로 아래에 있으니, 잘 모르신다면 아래 링크를 클릭해서 보고 오시는 걸 권장합니다. 2023.01.02 - [반도체 공학/반도체 분석장비] - 반도체 분석장비) Photoluminescence PL 장비 반도체 분석장비) Photoluminescence PL 장비 PL은 광학적 특성을 측정하는 장비입니다. 이를 통해 Defect levels, impurity levels, 박막의 quality, target의 파장을 확인할 수 있습니다. PL 측정 용도 PL의 측정 용도는 반도체의 광학적 특성 및 조성, 불 yonsekoon.tistory.com EL 장비 PL 장비는 레이저.. 2023. 1. 6.
반도체 분석 장비) Optical Microscope(OM) (표면 분석 장비) Optical Microscopy(OM) Optical Microscopy(OM)는 물체의 미세한 부분을 확대하여 관찰하는 광학 장치로, 표본을 스테이지에 올려놓고 스테이지 및 광원으로 빛을 비추면 그 표본을 통과한 빛이 대물 랜즈에 의해 실상을 맺고, 이 실상을 접안렌즈로 다시 확대하여 상을 관찰하는 원리입니다. 2023.01.01 - [반도체 공학/반도체 분석장비] - 반도체 분석 장비) SEM (표면 분석 장비) 반도체 분석 장비) SEM (표면 분석 장비) Optical microscopy(OM) Optical microscopy(OM)은 물체의 미세한 부분을 확대하여 관찰하는 광학 장치로, 표본을 스테이지에 올려놓고 스테이지 및 광원으로 빛을 비추면 그 표본을 통과한 빛이 대물 랜즈에 yonse.. 2023. 1. 6.
반도체 분석장비) Raman 분석 (feat Graphene) Raman은 PL, EL와 같은 광학적 분석 장치입니다. Material structure, Defect, Surface morphology 등을 알 수 있습니다. 산란 빛이 어떤 매질을 통과할 때, 빛의 파장을 변화시켜 빛의 일부는 진행방향에서 이탈해 다른 방향으로 진행하는 현상을 산란이라고 합니다. 라만 산란(Raman Scattering) 산란 시 빛의 파장이 변화되는 현상을 라만 산란이라고 합니다. 위 라만 산란은 anti-stokes, stokes으로 또 나뉘는데요, 분자에게 photon energy를 주는 stokes 현상이 anti-stokes 현상에 비해 훨씬 많이 생기므로, 측정 시 anti-stokes 현상은 무시합니다. 물질마다 사진에서 보이는 v1의 정도가 다 달라서, 빛의 파장의 .. 2023. 1. 2.
반도체 분석장비) Photoluminescence PL 장비 PL은 광학적 특성을 측정하는 장비입니다. 이를 통해 Defect levels, impurity levels, 박막의 quality, target의 파장을 확인할 수 있습니다. PL 측정 용도 PL의 측정 용도는 반도체의 광학적 특성 및 조성, 불순물의 종류와 농도, 결정성, sample의 전자 구조적 특성 및 결함. 발광 특성뿐 아니라 2DEG 특성, 계면의 특성, 절연체 내 이온의 내부 복사전이 여부 등을 측정하는 데 사용합니다. PL에서 측정되어 나오는 파장을 통해 Bandgap과 Strain을 알 수 있고, Intensity의 크기를 통해 optical quality, 즉 surface roughness, excitation power, electric field를 알 수 있고, FWHM을 통해 .. 2023. 1. 2.
반응형

티스토리툴바