반도체 8대 공정/5. Deposition8 5.7 증착 공정) ALD 공정 ALD 공정이란 CVD 공정의 변형으로 반응 기체와 웨이퍼 기판 표면과의 화학 흡착을 통해 원자층 수준으로 한 층 한 층 박막을 쌓아 올라가는 증착 방법입니다. 통상 2개의 전구체를 서로 중첩되지 않게 순차적으로 주입하여 화학반응을 시키지요. Why ALD? 산업에서는 반도체 기술이 고도화됨에 따라 높은 종횡비를 요구하기 시작하였습니다. Gate Oxide, Capacitor 또한 얇은 박막을 선호하지요. 이에, 균일하고 얇게 증착할 수 있는 박막 증착 기술인 ALD를 도입하였습니다. ALD 공정 기술의 예 Nand flash의 터널 산화막, 블로킹 산화막, DRAM의 CAP 유전막, FINFET의 고 유전 율 게이트 산화막, 금속 워드라인에 응용됩니다. - High- K dielectric : Al2O.. 2022. 12. 25. 5.6 증착 공정) 반도체 증착 장비 진공 잡는 법(feat. Sputter 장비 작동법) 반도체 증착 장비를 실습할 때, 100이면 100 진공을 잡고 시작합니다. 많은 분들이 진공 잡는 부분에서 매우 어려움을 겪고 있습니다. Sputter 조교로 활동했었던 제가 진공 잡는 법을 가르쳐 드리겠습니다. 이번 내용은 'Sputter' 장비의 작동법을 설명해 드리겠습니다. 다른 PVD, CVD 공정도 진공 제작 방법에 있어서 거의 동일하니, 끝까지 포스트를 읽어주셨으면 좋겠습니다. Sputter 작동법 1. Setting 확인 - Cooling water가 초록 불이 켜져 있는지 확인합니다. (Target은 열이 많이 가해지며, 열이 많으면 Target을 잡아주는 copper plate가 휘어짐에 따라 냉각수 튀어나와 진공이 깨지는 현상이 발생됩니다.), - Air press(모든 벨브 열고 닫는.. 2022. 12. 15. 5.5) PVD의 이해 Intro Physical Vapor Deposition, PVD는 CVD와 같이 반도체에 막을 증착해주는 장치입니다. Target에 물리적인 힘으로 증착하고자 하는 target 금속을 기화시킨 후, 기화된 target 금속 원자들을 기판에 떨어트려 응결시켜 고체 박막이 증착되게 만드는 장치를 PVD라고 합니다. PVD는 주로 ‘금속 관련 박막 증착’에 사용되고 있으며, 이 마저도 CVD로 대체되는 중입니다.. 안녕 PVD PVD 특징 PVD는 대체적으로 고온, 고진공 공정입니다. 하지만 Uniformity, Step coverage가 매우 안 좋기 때문에 Sputter 공정 제외하고 잘 사용되지 않습니다. (Sputter는 그나마 Step coverage가 괜찮습니다.) 고온, 고진공인데 왜 Unifo.. 2022. 12. 11. 5.4 증착 공정) 증착 공정 변수, 증착 3대 조건, 증착 3대 문제 증착 공정 변수에 대해서 설명을 해드리겠습니다. 증착 공정 변수 1. Uniformity Wafer 전체에 일정한 두께로 Target material이 증착되어 있는가 에 대한 지표입니다. Uniformity가 좋지 않으면, 개별 칩 간 Vth 등의 특성 차이가 날 수 있습니다. 위 사진의 SiO2 층이 gate oxide면 소자 간 gate oxide 두께가 매우 다르겠죠. 얇으면 터널링이 일어날 수 있고, 너무 두꺼우면 유전 효과가 느려 소자 자체도 느려질 것입니다. 식각에서도 과식각/식각 x 문제로 인하여 후공정에서 오염물질로 작용할 수 있습니다. 2. Step coverage Uniformity가 얼마나 좋냐?를 객관적으로 나타내는 수치입니다. 반도체의 특정 막은 금속 등으로 하부 소자와 상부 소.. 2022. 12. 11. 5.3 증착 공정) CVD 장비 종류, 각 장비 장단점 CVD Intro CVD의 종류는 엄청 다양합니다. 지난 시간에 설명드린 내용이었죠. 관련 내용은 아래 링크 남겨놨습니다. 2022.11.30 - [전자공학/5. Deposition] - 5.2 증착 공정) CVD의 이해(CVD의 모든 것) 5.2 증착 공정) CVD의 이해(CVD의 모든 것) CVD Intro 삼성전자 유튜브에서 'CVD, PVD'는 건물의 '벽돌'라고 비유했습니다. 이 말을 감히 바꿔보면 건물의 벽돌을 쌓아주고 '만들어주는 것'이 PVD, CVD 장비입니다. 벽돌은 우리가 저번 시간에 배웠 yonsekoon.tistory.com CVD 종류는 LPCVD, MPCVD, MOCVD, HDPCVD, CVD, PECVD, APCVD 등으로 엄청 많습니다. 이 세상엔 완벽한 게 없습니다. 빠른.. 2022. 12. 8. 이전 1 2 다음 반응형
