해상도 초점심도 관계1 3-1 포토 공정 ) 포토 공정 변수, 해상도 개선 방법, printing 방법 포토 공정 변수 포토 공정 변수는 다음과 같습니다. 1. 해상도(분해능) PR에 높은 적합성을 전사할 수 있는 최소 특성 치수(패턴 크기)입니다. 즉 쉽게 말해 '얼마나 작게 그릴 수 있냐?'입니다. 해상도 값은 작을수록 좋습니다. 2. 정합 이전에 정의된 패턴에 대하여 정렬되거나 겹쳐질 수 있는 연속된 Mask의 패턴이 얼마나 정확한가의 수치입니다. 정합 값은 작을수록 좋습니다. 3. 처리량 한 시간당 노광 될 수 있는 Wafer의 개수입니다. 처리량은 높을수록 좋습니다. 해상도 개선 방법 해상도의 식은 다음과 같습니다. 레일레이 공식이죠. λ가 작아지거나, NA가 커질수록 해상도가 좋아집니다. NA를 키우는 것 보다 노광 광원의 단 파장화가 매우 중요합니다. NA를 키우는 것은 '댓가'가 있기 때문입.. 2022. 11. 24. 이전 1 다음 반응형
