반도체 8대 공정/반도체 분석장비7 반도체 분석장비) X-ray Diffraction XRD (구조적 특성 분석 장비) XRD는 SEM 장비와 동일하게 구조적 특성을 측정하는 장비입니다. SEM 장비는 sample의 표면을 관찰하는 장비입니다. XRD 장비는 결정성, 두께, 조성, strain, defect 등을 측정하는 장비입니다. 이번 포스팅에서는 실제 측정값을 면간거리, 결정격자상수, 조성을 차례대로 구할 예정입니다. X-ray Diffraction(XRD) X-Ray의 회절 현상을 이용하여 물질의 내부구조를 측정하는 기구를 X-Ray Diffraction, XRD라고 합니다. - X-Ray 전자를 전압으로 가속시켜 물체에 충돌시킬 때, 투과력이 강한 복사선(전자기파)이 방출됩니다. 이 복사선을 X-Ray라고 합니다. 발생되는 X-Ray 중 Characteristic X-ray를 이용하지요. Characteristi.. 2023. 1. 1. 반도체 분석 장비) SEM (표면 분석 장비) Optical microscopy(OM) Optical microscopy(OM)은 물체의 미세한 부분을 확대하여 관찰하는 광학 장치로, 표본을 스테이지에 올려놓고 스테이지 및 광원으로 빛을 비추면 그 표본을 통과한 빛이 대물 랜즈에 의해 실상을 맺고, 이 실상을 접안렌즈로 다시 확대하여 상을 관찰하는 원리입니다. 이러한 현미경들은 '분해능'을 통해 평가됩니다. 분해능이란, 두 물체를 분리해낼 수 있는 능력으로, 두 개의 물체가 두 개라고 인식할 수 있는 물체 간의 최소거리를 뜻합니다. 분해능이 작을수록 좋지요. OM의 분해능(두 물체를 분리해낼 수 있는 능력)은 0.2㎛입니다. OM의 측정방법은 크게 두 가지 있습니다. 샘플에 반사된 가시광선을 그대로 관찰하는 Normal mode, 단차까지 보여 더 .. 2023. 1. 1. 이전 1 2 다음 반응형
