반도체 공학/Plasma2 직류 플라즈마 반도체 공정에서 플라즈마가 필요한 이유에 대해 알아봤습니다. 2022.12.12 - [반도체 공학/Plasma] - 플라즈마) 플라즈마의 모든 것 플라즈마) 플라즈마의 모든 것 Intro 플라즈마는 반도체 공정을 공부하실 때 필수로 알아두셔야 하는 개념입니다. 플라즈마는 반도체 공정 중 '증착 공정', '식각 공정', 'cleaning 공정'에서 특히 많이 쓰입니다. 왜 쓰일까요? 위 yonsekoon.tistory.com 플라즈마에 대해 이해를 하셨으니, 이제 플라즈마를 chamber 내에 만들어 봐야겠죠. 전자 가속 가속된 전자와 중성 기체와의 비탄성 충돌로 인해 이온의 생성, 중성입자의 분해, 여기 현상이 생겨나고, 그 중 이온의 생성으로 인해 Plasma가 만들어진다고 하였습니다. 즉, 플라즈마를.. 2022. 12. 26. 플라즈마) 플라즈마의 모든 것 Intro 플라즈마는 반도체 공정을 공부하실 때 필수로 알아두셔야 하는 개념입니다. 플라즈마는 반도체 공정 중 '증착 공정', '식각 공정', 'cleaning 공정'에서 특히 많이 쓰입니다. 왜 쓰일까요? 위 세 가지 공정은 소스 가스들끼리의 반응, 소스 가스와 기판 표면끼리의 반응을 통해 이루어집니다. 이러한 반응들은 '에너지'가 필요합니다. 옛날엔 대부분 '열 에너지'를 통해 에너지를 공급했답니다. 하지만 열로 에너지를 공급하는 것은 아주 많은 단점이 있습니다. 전문 용어로 thermal budget이라고 하죠. 하부 소자가 높은 열 때문에 파괴되거나, crack이 생긴다거나... 이러한 문제는 반도체 소자에 매우 큰 악영향을 미치게 됩니다. 이러한 단점 때문에 '플라즈마' 로 에너지를 공급하는 것.. 2022. 12. 12. 이전 1 다음 반응형
