2-1 산화 공정) 반도체 산업에서 산화막은 단결정일까 비정질일까?

2. 산화 공정) 반도체 산화 공정 (feat. Gate Oxide)

왜 '실리콘'이 반도체에 사용이 되며, '신의 물질'이라고 하는지 아시나요? 실리콘의 장점은 크게 3가지입니다. 1. 모래의 주 성분으로 지구에 엄청 많습니다. 집 앞 놀이터에도 모래가 엄청 많죠.

yonsekoon.tistory.com

결정질, 비정질 구분은 반도체 산업에서 매우 중요합니다.

단결정은 결정 방향이 일정하게 구성되어 있는 결정체를 말합니다.

즉, 결정 방향이 다른 부분, grain boundary가 존재하지 않죠.

Grain boundary가 없기 때문에 전자 이동을 방해하는 요소가 없어 반도체 산업에서 단결정은 필수적입니다.

단결정을 만들기 위해 엄청 많은 노력을 하니까요.

다결정은 결정 방향이 부분 부분 일정하지 않게 구성되어 있는 결정체를 말합니다.

즉, grain boundary가 엄청 존재하죠.

다결정 같은 경우는 상대적으로 quality가 좋지 않아도 되는 태양전지 기판 등에서 사용을 합니다.

비정질

규칙성이 아예 존재하지 않아 결정 방향 자체가 일정하지 않는 것을 말합니다. Grain boundary가 수도 없이 많다고 생각해도 됩니다. 전기적 성질이 매우 좋지 않죠.

여기서 질문 들어갑니다!

정답 : 비정질입니다.

열역학적으로 결정성을 갖는 산화막은 구현하기 매우 어렵다고 합니다.

이래서 산화막 위에 올리는 전극이 poly Si, 비정질 Si인 이유일까요.

2.4 산화 공정) CMOS에서 사용되는 산화막, 유전체 (USG, PSG, BPSG), 증착 방식 (1)	2022.12.03
2-3 산화 공정) 열 산화 공정 Mechanism, Oxidation rate 변수 (0)	2022.11.23
2-2 산화 공정) 유전율, high k, low k에 대해서 알아보자 (0)	2022.11.15
2. 산화 공정) 반도체 산화 공정 (feat. 습식 산화가 빠른 이유) (2)	2022.10.12

댓글