PECVD1 2. 산화 공정) 반도체 산화 공정 (feat. 습식 산화가 빠른 이유) 왜 '실리콘'이 반도체에 사용이 되며, '신의 물질'이라고 하는지 아시나요? 실리콘의 장점은 크게 3가지입니다. 1. 모래의 주 성분으로 지구에 엄청 많습니다. 집 앞 놀이터에도 모래가 엄청 많죠. 따라서 가격이 엄청 쌉니다. 2. 적당히 큰 에너지 밴드갭을 가지고 있어, 높은 온도에서도 동작이 가능합니다. 3. 고품질의 실리콘 산화막, 절연막을 얻기 매우 용이합니다. 그저 뜨거운 furnace에서 산소와 결합시키면 되니까요. GaAs 반도체는 산화물을 얻기 힘들어 발전이 어렵습니다. 오늘 포스팅할 내용은 이 '3번', SiO2입니다. 기본적인 내용만 다루겠습니다. Si on SiO2가 특별한 이유 Si on SiO2가 특별한 이유는 다음과 같습니다. 1. 실리콘에서 SiO2로 바꾸기 정말 쉽습니다. 2.. 2022. 10. 12. 이전 1 다음 반응형
