dry etch gas1 4.1 식각 공정) Reactive Ion Etching, 식각 변수 전 포스팅에서 건식 식각과 습식 식각에 대해서 간단하게 알아봤습니다. 2022.10.14 - [전자공학/4. Etch] - 4. 식각 공정) 식각 공정의 개념과 습식 식각, 건식 식각의 개념 및 차이 4. 식각 공정) 식각 공정의 개념과 습식 식각, 건식 식각의 개념 및 차이 Summary 식각 공정이란 포토 공정에 의해 형성된 감광제 패턴을 아래에 있는 층으로(SiO2) 옮기기 위하여 패턴이 없는 부분을 선택적으로 제거하는 공정입니다. 식각 공정은 습식 식각과 건식 식각 yonsekoon.tistory.com 건식 식각은 이방성이기 때문에 나노 패턴을 그리기 쉽지만, 느리고 선택비가 낮아 Mask가 파괴될 수 있습니다. 습식 식각은 등방성이기 때문에 나노 패턴을 구현할 수 없지만, 빠르고 선택비가 높다.. 2022. 10. 15. 이전 1 다음 반응형
