1. 진공 펌프, 진공 게이지 (반도체 공정)
반도체 제조 (박막 증착, 식각) 뿐 아니라, 반도체 평가/측정 단계에서도 진공이 필요합니다. 이번 포스팅은, 진공 관련된 대략적인 이해와 펌프 종류, 그리고 진공도를 측정하는 게이지 관련하여 설명을 드리겠습니다. 진공이 필요한 이유는 원하는 기능을 그대로 구현하기 위해 결함 없는 박막을 증착하기 위해, 그리고 먼지들로 인해 공정 중 불량(short)이 생기지 않는, 어찌 보면 위 글을 보는 분들은 당연히 아시는 이야기를 진행하고 있습니다.특정 압력에서 플라즈마를 띄우는 공정을 진행하거나, 금속의 녹는점을 낮추기 위한 공정, 혹은 base pressure에 따라 박막 성질 변화 등의 다양한 이유로 진공에 대해 반도체 공학자들은 민감해집니다. 먼저, 챔버에 진공을 만드는 펌프에 대해 말씀을 드리겠습니다.진..
2024. 10. 13.
