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반도체 8대 공정/반도체 분석장비

반도체 분석장비) Raman 분석 (feat Graphene)

by SeH_ 2023. 1. 2.
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Raman은 PL, EL와 같은 광학적 분석 장치입니다. 

Material structure, Defect, Surface morphology 등을 알 수 있습니다. 

산란

빛이 어떤 매질을 통과할 때, 빛의 파장을 변화시켜 빛의 일부는 진행방향에서 이탈해 다른 방향으로 진행하는 현상을 산란이라고 합니다.

 

라만 산란(Raman Scattering)

산란 시 빛의 파장이 변화되는 현상을 라만 산란이라고 합니다. 

 

 

 

위 라만 산란은 anti-stokes, stokes으로 또 나뉘는데요,  분자에게 photon energy를 주는 stokes 현상이 anti-stokes 현상에 비해 훨씬 많이 생기므로, 측정 시 anti-stokes 현상은 무시합니다. 

 

물질마다 사진에서 보이는 v1의 정도가 다 달라서, 빛의 파장의 변화에 따라 material structure을 파악할 수 있습니다. 

 

 

이러한 Raman 측정은 어디에 사용될까요? 

Graphene은 에너지 밴드가 모래시계 형태로, 산란 신호가 매우 강하게 일어나 그래핀을 보다 더 완벽하게 측정할 수 있습니다. Graphene의 defect과 surface morphology를 잘 알 수 있어요. 

 

 

 

Raman으로 Graphene을 평가하는 방법입니다. 

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