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4. 식각 공정) 식각 공정의 개념과 습식 식각, 건식 식각의 개념 및 차이 Summary 식각 공정이란 포토 공정에 의해 형성된 감광제 패턴을 아래에 있는 층으로(SiO2) 옮기기 위하여 패턴이 없는 부분을 선택적으로 제거하는 공정입니다. 식각 공정은 습식 식각과 건식 식각으로 나뉩니다. 습식 식각은 '용액'을 이용해서 식각을 진행하며 '등방성 식각'입니다. 건식 식각은 'plasma'를 이용해서 식각을 진행하며, '이방성 식각'입니다 (Plasma 내의 라디칼을 이용하는 건식 식각은 '등방성 식각'입니다.) 미세 패턴의 전사율을 높이기 위해 '이방성 식각'이 필수적입니다. 등방성 식각을 하면 패턴이 제대로 남아있지 않죠. 습식 식각 (화학 용액) 습식 식각은 화학 용액을 이용하여 식각을 진행합니다. 습식 식각은 등방성 식각이기 때문에, 2 마이크로미터 이하의 미세한 패턴 형성.. 2022. 10. 14.
3. 포토 공정) 반도체 포토 공정 (feat. ASML, Soft bake의 온도) Intro Q. Photo 공정 쪽으로 입사하고 싶다고 하셨는데요, Photo 공정은 Clean room에서 진행이 됩니다. 혹시 왜 그런지 아는 대로 말씀해주세요. A.? Q. Photo 공정이 뭐인지 간단히 말씀해 주세요. A. 어.. -탈락- 바쁘신 현대인들을 위해 Photo 공정에 대해서 간략하게 설명해 드리고 넘어가겠습니다. 한 반도체를 만들 때 20회 이상의 포토 공정이 진행될 만큼 매우 중요합니다. Photo 공정이란, Mask 상에 형성되어 있는 패턴에 빛을 쏘아서 Si에 전사하는 과정입니다. 특정 부분은 없애고 특정 부분은 남기죠. 없앨 부분은 빛으로 쪼아 녹게 만들고, 남기고 싶은 부분은 PR, Hard Mask로 덮어 빛의 영향을 받지 않게 합니다. PR의 종류는 Positive PR.. 2022. 10. 13.
네이버 로그인 자동화, 웹 스크래핑 selenium 에러(나도코딩) 에러 1 : AttributeError: 'WebDriver' object has no attribute 'find_element_by_class_name 이 에러는 selenium 버전이 올라가면서 get 부분의 쓰임새가 달라져서 그런 것 같습니다. 에러 2 : 나도 코딩님께서 올려주신 티스토리 링크 적용해도 안됨(js 부분이라 잘 모르겠습니다.) 따라서, pyperclip을 이용하여 이 모든 에러 1, 2를 고친 코드를 공유하겠습니다. 2022년 10월 12일 작동 잘 됨. from selenium.webdriver.common.keys import Keys from selenium.webdriver.common.by import By from selenium import webdriver impor.. 2022. 10. 12.
2. 산화 공정) 반도체 산화 공정 (feat. 습식 산화가 빠른 이유) 왜 '실리콘'이 반도체에 사용이 되며, '신의 물질'이라고 하는지 아시나요? 실리콘의 장점은 크게 3가지입니다. 1. 모래의 주 성분으로 지구에 엄청 많습니다. 집 앞 놀이터에도 모래가 엄청 많죠. 따라서 가격이 엄청 쌉니다. 2. 적당히 큰 에너지 밴드갭을 가지고 있어, 높은 온도에서도 동작이 가능합니다. 3. 고품질의 실리콘 산화막, 절연막을 얻기 매우 용이합니다. 그저 뜨거운 furnace에서 산소와 결합시키면 되니까요. GaAs 반도체는 산화물을 얻기 힘들어 발전이 어렵습니다. 오늘 포스팅할 내용은 이 '3번', SiO2입니다. 기본적인 내용만 다루겠습니다. Si on SiO2가 특별한 이유 Si on SiO2가 특별한 이유는 다음과 같습니다. 1. 실리콘에서 SiO2로 바꾸기 정말 쉽습니다. 2.. 2022. 10. 12.
1. 반도체 Wafer 공정 (feat. 쵸크랄스키 방법) 저번 포스팅에서는 '모래'에서 '고순도 다결정 실리콘'이 되는 과정을 설명하였습니다. 요약을 해 드리자면 다음과 같습니다. 모래는 아크 방전로에서 탄소와 반응하여 '실리콘'을 형성시키고, 실리콘을 가스화 공정을 통해 '실란 가스'로 기체화 시킵니다. 실란 가스를 화학 공장에서 '증류 방법'으로 정제를 하여 고순도 기체 실란 가스를 만듭니다. 그 후, 지멘스 방법으로 고순도 다결정 고체 실리콘을 만듭니다. 2022.10.10 - [전자공학/반도체 공정] - 고순도 실리콘의 탄생 (feat. 지멘스 방법) 고순도 실리콘의 탄생 (feat. 지멘스 방법) 고순도 실리콘의 탄생 면접관 : '모래에서 고순도 Si로 어떻게 바뀌는지 혹시 설명해주실 수 있으실까요?' A : '쵸크라스키 방법, Zone refinin.. 2022. 10. 11.
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