본문 바로가기

전체 글124

반도체 공정 실습 ) 증착 공정, ALD 공정 실습 ALD 정의 ALD 공정은 원자 두께로 박막층을 한 층​씩 형성시키는 공정입니다. ALD 공법은 표면 화학 흡착 공법, 자기 제한적 흡착 공법으로 구분됩니다. 표면 화학 흡착 공법은 말 그대로 표면에 원자가 화학적 흡착을 함으로 박막이 성장이 되는 공법을 말합니다. 자기 제한적 흡착 공법은, 일정 반응이 진행되면 더 이상 증착이 되지 않는 공법을 말합니다. '자기 제한적 흡착 공법'에 의해 박막을 한 층씩 형성시킬 수 있습니다. ALD의 장점 ALD의 장점은 다음과 같습니다. 1. 원자 단위의 증착을 control 가능합니다. 2. Step coverage 한계를 극복할 수 있습니다. 3. 한 층 이상 증착이 안되어 모든 면적에서 균일도를 가집니다. 4. 낮은 온도에서 공정을 진행하여 다른 막 영향을 최.. 2022. 10. 31.
반도체 공정 실습) 포토 공정 실습 포토 공정 관련 자세한 이론은 아래 링크 참고해 주시기 바랍니다. 2022.10.13 - [반도체 8대 공정/3. Photo] - 3. 포토 공정) 반도체 포토 공정 (feat. ASML, Soft bake의 온도) 간단하게 포토 공정의 개념을 설명해 드리겠습니다. 포토 공정의 정의 포토 공정이란, 설계된 패턴을 웨이퍼 상에 형성하는 공정입니다. 즉, 밑그림을 그리는 작업이지요. 설계된 패턴을 웨이퍼 상에 전사시키는 공정이기 때문에, 미세 나노 패턴 구현에 있어 가장 중요한 공정입니다. 식각 장비, 증착 장비 등 반도체 장비가 아무리 좋아도 웨이퍼 상에 패턴 전사를 제대로 못 시키면 아무것도 아니게 됩니다. 현재 3 나노 반도체가 존재하게 된 이유는 미세 패턴을 구현할 수 있는 최고의 포토 장비 회사 A.. 2022. 10. 30.
반도체 물성과 소자) 12. MOSFET MOSFET 종류 MOSFET에는 크게 두 가지 종류가 있습니다. Enhancement mode MOSFET과 Depletion mode MOSFET입니다. Enhancement mode(E-Mode MOSFET)란, 게이트 전압이 0일 때 반전층이 형성되지 않는 모드를 말합니다. 앞 강의에서 말씀드린 것처럼, 역방향 전압이 커짐에 따라 점점 depletion layer가 생성되고, 이에 반전층이 형성됨에 따라 전류가 흐르는 mode입니다. 즉, normally off 상태의 Transistor입니다. Depletion mode MOSFET(D-mode MOSFET)이란, 게이트 전압이 0일 때, 이미 반전층이 형성되어 전류가 흐르는 mode를 말합니다. 즉, normally on 상태의 Transist.. 2022. 10. 29.
반도체 물성과 소자) 11. MOSFET의 원리 (MOS 구조) 이번 장에서는 이번 카테고리의 마지막, MOSFET에 대해서 설명을 해드리겠습니다. 전자기기는 대부분 MOSFET이 사용됩니다. 다중 접합 소자, MOSFET이란? pn junction은 단일 접합 소자(두 개의 반도체 접합)로 스위칭 특성 및 정류 특성을 이용합니다. MOSFET는 트랜지스터로, 단일 접합 소자가 아닌 다중 접합 소자입니다. 트랜지스터는 스위칭 특성 및 전류 이득, 전압 이득, 신호 전력 이득 등 증폭기 특성을 얻기 위해 사용합니다. MOSFET의 종류 n-channel MOSFET(nMOS) : 채널에서 전하를 움직이는 캐리어가 전자인 트랜지스터입니다. p-channel MOSFET(pMOS) : 채널에서 전하를 움직이는 캐리어가 정공인 트랜지스터입니다. CMOS : n-channel.. 2022. 10. 28.
반도체 물성과 소자) 10. 반도체 Heterojunction 반도체 - 금속 접합에 대해서 배웠습니다. 2022.10.26 - [반도체 공학/반도체 소자 이론] - 반도체 물성과 소자) 9. Metal Semiconductor Heterojunction 반도체 물성과 소자) 9. Metal Semiconductor Heterojunction 반도체는 pn junction이 베이스인 소자입니다. 발광, 정류 특성 등 반도체에서 이용되는 특성은 모두 pn 접합에 인해 생깁니다. p-si, n-si를 접합시키면, 같은 재료의 반도체를 접합하였기 때문에 homoj yonsekoon.tistory.com 이번 시간에는 서로 다른 반도체끼리 접합하는 heterojunction에 대해서 배우겠습니다. 고성능의 반도체를 구현하기 위해 서로 다른 반도체끼리 접합시키는 경우가 많습.. 2022. 10. 27.
반응형

티스토리툴바