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2-3 산화 공정) 열 산화 공정 Mechanism, Oxidation rate 변수 산화 공정 정리 글 2022.10.12 - [전자공학/2. Oxide] - 2. 산화 공정) 반도체 산화 공정 (feat. Gate Oxide) 2. 산화 공정) 반도체 산화 공정 (feat. Gate Oxide) 왜 '실리콘'이 반도체에 사용이 되며, '신의 물질'이라고 하는지 아시나요? 실리콘의 장점은 크게 3가지입니다. 1. 모래의 주 성분으로 지구에 엄청 많습니다. 집 앞 놀이터에도 모래가 엄청 많죠. yonsekoon.tistory.com 이 글은 위 글을 추가 설명하기 위해서 작성된 글입니다. 열 산화 공정의 Mechanism 산화 공정의 Mechanism에 대해서 자세히 살펴보겠습니다. 이 Mechanism을 통째로 'Deal-Groove Mechanism'이라고 합니다. Mechanism은.. 2022. 11. 23.
4-2 식각 공정) Si, SiO2의 습식 식각 물질 습식 식각 Processing gases 습식 식각은 선택비가 매우 좋고 Batch 공정이 가능하여 생산성이 높다는 장점이 있습니다. 하지만 '등방성'이기 때문에 2um 이하의 패턴은 구현하지 못한다는 단점으로 인해 쓰이지 않고 있죠. 요즘 trend는 습식 식각 + 건식 식각을 합친 식각 방법(RIE)이 쓰이기 때문에 습식 식각의 Etch gas는 아셔야 합니다. Etch gas atom Target Etching Gas Etch product(휘발성 높음) F Si, SiO2, Si3N4 CF4, C2F6, SF6, NF3 SiF4, Si2F6 Cl Si CL2, CCl2F2 SiCl2, SiCl4 Cl Al BCl3, CCl4, Cl2 AlCl3, Al2Cl6 O Organic solids (탄소로.. 2022. 11. 22.
탄소 동소체 탄소 동소체는 정말 다양합니다. Diamond, Graphene, 탄소 나노튜브, 풀러렌(C60)등이 대표적인 탄소 동소체입니다. 이 탄소 동소체들은 과학계에서 정말 골칫덩어리들입니다. 소재는 너무 좋은데, 이를 응용하기가 매우 어렵기 때문입니다. 만들기도 어렵고요. Diamond Diamond는 탄소 원자가 4개의 이웃 탄소 원자와 3차원적으로 무수히 많이 반복되어 있는 결정체입니다. Diamond를 중심으로 차세대 Ultra-Wide Bandgap 반도체 소재를 연구하는 연구실도 많지요. 다이아몬드 특성은 다음과 같습니다. - High thermal conductivity(Cu 보다 5배 큼) - High breakdown voltage(up to 10MV/cm) - High Carrier mobil.. 2022. 11. 21.
유기 반도체의 정의, 장점 유기 반도체의 정의 유기 반도체는 유기물로 만들어진 반도체입니다. 유기물이란, 탄소와 수소의 화합물을 기반으로 구성되어 있는 물질을 말합니다. 사람의 각질, 몸도 대부분 유기물이죠. 특정 반도체 시장은 무기 반도체(실리콘 등)가 아닌 유기 반도체를 적용하려고 많은 연구를 하고 있습니다. 유기 반도체의 장점 유기 반도체의 장점은 다음과 같습니다. 1. LightWeight 2. Flexible 3. 저온 공정 4. 낮은 가격 >> 제조가 매우 쉽습니다. Roll to Roll 공정이 가능하여 대량 생산이 가능하며, 연속적인 공정이 가능합니다. 싸고, 저온 공정이 가능하기 때문에 상용화에 있어 유기 반도체가 무기 반도체에 비해 매우 유리합니다. 유기 반도체의 단점 유기 반도체의 단점은 다음과 같습니다. 1... 2022. 11. 20.
Final) 태양전지 정리 이 글은 태양전지에 대해 얼마나 이해를 했는지 제 스스로 테스트하는 글입니다. 관련 글, 참고자료들을 보지 않고 쓰는 것이니 다소 부정확할 수 있습니다. 관련 내용들은 제가 '링크'를 달겠습니다. 뭔가 이해가 잘 안 되시면 꼭 클릭을 해주시기 바랍니다. 태양전지를 공부하는 이유 2022.10.04 - [전자공학/Solar cell] - Intro) 태양 전지에 대한 전망, 왜 '태양 전지'를 공부해야 하는가?(feat. 신재생 에너지) Intro) 태양 전지에 대한 전망, 왜 '태양 전지'를 공부해야 하는가?(feat. 신재생 에너지) 이 글을 보시는 분들의 유형은 다음과 같다고 생각합니다. 1. 태양 전지에 대한 전망을 알고 싶은 사람과 이를 응용해서 주식 시장에서 성공을 하고 싶은 사람. 2. 태양 .. 2022. 11. 20.
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