전체 글122 반도체 분석장비) X-ray Diffraction XRD (구조적 특성 분석 장비) XRD는 SEM 장비와 동일하게 구조적 특성을 측정하는 장비입니다. SEM 장비는 sample의 표면을 관찰하는 장비입니다. XRD 장비는 결정성, 두께, 조성, strain, defect 등을 측정하는 장비입니다. 이번 포스팅에서는 실제 측정값을 면간거리, 결정격자상수, 조성을 차례대로 구할 예정입니다. X-ray Diffraction(XRD) X-Ray의 회절 현상을 이용하여 물질의 내부구조를 측정하는 기구를 X-Ray Diffraction, XRD라고 합니다. - X-Ray 전자를 전압으로 가속시켜 물체에 충돌시킬 때, 투과력이 강한 복사선(전자기파)이 방출됩니다. 이 복사선을 X-Ray라고 합니다. 발생되는 X-Ray 중 Characteristic X-ray를 이용하지요. Characteristi.. 2023. 1. 1. 반도체 분석 장비) SEM (표면 분석 장비) Optical microscopy(OM) Optical microscopy(OM)은 물체의 미세한 부분을 확대하여 관찰하는 광학 장치로, 표본을 스테이지에 올려놓고 스테이지 및 광원으로 빛을 비추면 그 표본을 통과한 빛이 대물 랜즈에 의해 실상을 맺고, 이 실상을 접안렌즈로 다시 확대하여 상을 관찰하는 원리입니다. 이러한 현미경들은 '분해능'을 통해 평가됩니다. 분해능이란, 두 물체를 분리해낼 수 있는 능력으로, 두 개의 물체가 두 개라고 인식할 수 있는 물체 간의 최소거리를 뜻합니다. 분해능이 작을수록 좋지요. OM의 분해능(두 물체를 분리해낼 수 있는 능력)은 0.2㎛입니다. OM의 측정방법은 크게 두 가지 있습니다. 샘플에 반사된 가시광선을 그대로 관찰하는 Normal mode, 단차까지 보여 더 .. 2023. 1. 1. 직류 플라즈마 반도체 공정에서 플라즈마가 필요한 이유에 대해 알아봤습니다. 2022.12.12 - [반도체 공학/Plasma] - 플라즈마) 플라즈마의 모든 것 플라즈마) 플라즈마의 모든 것 Intro 플라즈마는 반도체 공정을 공부하실 때 필수로 알아두셔야 하는 개념입니다. 플라즈마는 반도체 공정 중 '증착 공정', '식각 공정', 'cleaning 공정'에서 특히 많이 쓰입니다. 왜 쓰일까요? 위 yonsekoon.tistory.com 플라즈마에 대해 이해를 하셨으니, 이제 플라즈마를 chamber 내에 만들어 봐야겠죠. 전자 가속 가속된 전자와 중성 기체와의 비탄성 충돌로 인해 이온의 생성, 중성입자의 분해, 여기 현상이 생겨나고, 그 중 이온의 생성으로 인해 Plasma가 만들어진다고 하였습니다. 즉, 플라즈마를.. 2022. 12. 26. 5.7 증착 공정) ALD 공정 ALD 공정이란 CVD 공정의 변형으로 반응 기체와 웨이퍼 기판 표면과의 화학 흡착을 통해 원자층 수준으로 한 층 한 층 박막을 쌓아 올라가는 증착 방법입니다. 통상 2개의 전구체를 서로 중첩되지 않게 순차적으로 주입하여 화학반응을 시키지요. Why ALD? 산업에서는 반도체 기술이 고도화됨에 따라 높은 종횡비를 요구하기 시작하였습니다. Gate Oxide, Capacitor 또한 얇은 박막을 선호하지요. 이에, 균일하고 얇게 증착할 수 있는 박막 증착 기술인 ALD를 도입하였습니다. ALD 공정 기술의 예 Nand flash의 터널 산화막, 블로킹 산화막, DRAM의 CAP 유전막, FINFET의 고 유전 율 게이트 산화막, 금속 워드라인에 응용됩니다. - High- K dielectric : Al2O.. 2022. 12. 25. 엑셀 1-1) 엑셀 제목 꾸미기, 머릿글 꾸미기, 자동 채우기, 조건부 서식, 셀 입력 시 오른쪽 방향키 말고 TAB 키 쓰기 Youtube '오빠두엑셀'님의 영상을 따라 실습한 내용을 적습니다. 최종적으로 나온 엑셀 데이터입니다. 차근차근 기록해 보겠습니다. 1. 엑셀 제목 쓰기 제목은 대부분 문자 개수가 많습니다. ex) 2022년 12월 18일 보고서 한 셀에 이런 긴 문자를 넣으면 셀이 다른 열로 침범하여 보기 안 좋아집니다. 넉넉하게 셀을 드래그하여 클릭한 후, 셀을 병합합니다. 홈 > 중간 부분 병합하고 가운데 맞춤 클릭하시면 됩니다. 이후 홈 > 물감 표시와 물감표시 옆의 '가'를 클릭하여 원하는 색깔로 만들어줍니다. 저는 검정 바탕에 흰 글자로 입력하였습니다. 2. 머리글 작성 및 테두리 만들기 적당히 행을 띄운 후 원하는 머릿글을 적습니다. 이후, 홈 > 테두리를 클릭, 원하는 테두리를 입력합니다. 저는 아래 테.. 2022. 12. 18. 이전 1 ··· 6 7 8 9 10 11 12 ··· 25 다음 반응형
