반도체 8대 공정39 6.1 Metal 공정) 전 단계 공정 Silicide(실리사이드), Salicide(샐리사이드) 공정 전 단계 공정에서의 metal 공정 전 단계 공정은 크게 실리사이드, 살리사이드 공정으로 나뉩니다. 이 포스팅을 요약하면 다음과 같습니다. 실리사이드, 살리사이드, 폴리사이드를 공정하는 이유 MOSFET에서 식각, 증착 등의 patterning 필요 없이 매우 쉽게 공정을 진행할 수 있으며, 금속-반도체 접합 시 생기는 쇼트키 장벽 크기를 낮춰 오믹 컨택으로 만들어주며, 접촉 저항을 줄여줘 트랜지스터 속도 개선에 도움이 되기 때문입니다. 실리사이드(Silicide), 살리사이드(Salicide), 폴리사이드(Polycide) Si와 금속이 반응하여 안정한 금속(합금)이나 반도체 화합물을 형성하는 과정을 Silicide 공정이라고 합니다. FEOL에서 구성한 트랜지스터 단자들과 BEOL에서 만든 배선 사이.. 2022. 12. 13. 6. Metal) 금속 배선 공정 금속 배선 공정이란? 반도체 회로가 동작하기 위해 외부에서 전기적 신호를 가해줘야 합니다. 금속 배선 공정이란, 반도체 회로에 전기적 신호가 잘 전달되도록 전기길(금속길)을 연결하는 공정을 말합니다. 반도체 공정(포토, 식각, 이온 주입)등을 거쳐 만들어진 회로 패턴을 따라 금속배선을 이어 주는 공정을 말하지요. 즉, 증착 공정에서 금속을 증착하는 것의 확장 개념이라고 생각하시면 됩니다. 필요 금속 조건 필요 금속 조건은 다음과 같습니다. 1. Wafer와의 부착성이 좋아야 합니다. 금속이 wafer에 증착되었다가 어떠한 이유로 떨어지면 소자 동작이 어려워지죠. 2. 전기저항이 낮아야 합니다. 전기 저항이 높으면 줄 열이 발생될 수 있으며, 소자가 느려집니다. 3. 공정 후속 과정에서 금속선의 특성이 변.. 2022. 12. 13. 5.5) PVD의 이해 Intro Physical Vapor Deposition, PVD는 CVD와 같이 반도체에 막을 증착해주는 장치입니다. Target에 물리적인 힘으로 증착하고자 하는 target 금속을 기화시킨 후, 기화된 target 금속 원자들을 기판에 떨어트려 응결시켜 고체 박막이 증착되게 만드는 장치를 PVD라고 합니다. PVD는 주로 ‘금속 관련 박막 증착’에 사용되고 있으며, 이 마저도 CVD로 대체되는 중입니다.. 안녕 PVD PVD 특징 PVD는 대체적으로 고온, 고진공 공정입니다. 하지만 Uniformity, Step coverage가 매우 안 좋기 때문에 Sputter 공정 제외하고 잘 사용되지 않습니다. (Sputter는 그나마 Step coverage가 괜찮습니다.) 고온, 고진공인데 왜 Unifo.. 2022. 12. 11. 5.4 증착 공정) 증착 공정 변수, 증착 3대 조건, 증착 3대 문제 증착 공정 변수에 대해서 설명을 해드리겠습니다. 증착 공정 변수 1. Uniformity Wafer 전체에 일정한 두께로 Target material이 증착되어 있는가 에 대한 지표입니다. Uniformity가 좋지 않으면, 개별 칩 간 Vth 등의 특성 차이가 날 수 있습니다. 위 사진의 SiO2 층이 gate oxide면 소자 간 gate oxide 두께가 매우 다르겠죠. 얇으면 터널링이 일어날 수 있고, 너무 두꺼우면 유전 효과가 느려 소자 자체도 느려질 것입니다. 식각에서도 과식각/식각 x 문제로 인하여 후공정에서 오염물질로 작용할 수 있습니다. 2. Step coverage Uniformity가 얼마나 좋냐?를 객관적으로 나타내는 수치입니다. 반도체의 특정 막은 금속 등으로 하부 소자와 상부 소.. 2022. 12. 11. 5.3 증착 공정) CVD 장비 종류, 각 장비 장단점 CVD Intro CVD의 종류는 엄청 다양합니다. 지난 시간에 설명드린 내용이었죠. 관련 내용은 아래 링크 남겨놨습니다. 2022.11.30 - [전자공학/5. Deposition] - 5.2 증착 공정) CVD의 이해(CVD의 모든 것) 5.2 증착 공정) CVD의 이해(CVD의 모든 것) CVD Intro 삼성전자 유튜브에서 'CVD, PVD'는 건물의 '벽돌'라고 비유했습니다. 이 말을 감히 바꿔보면 건물의 벽돌을 쌓아주고 '만들어주는 것'이 PVD, CVD 장비입니다. 벽돌은 우리가 저번 시간에 배웠 yonsekoon.tistory.com CVD 종류는 LPCVD, MPCVD, MOCVD, HDPCVD, CVD, PECVD, APCVD 등으로 엄청 많습니다. 이 세상엔 완벽한 게 없습니다. 빠른.. 2022. 12. 8. 이전 1 2 3 4 5 6 7 8 다음 반응형
