전체 글126 5.5) PVD의 이해 Intro Physical Vapor Deposition, PVD는 CVD와 같이 반도체에 막을 증착해주는 장치입니다. Target에 물리적인 힘으로 증착하고자 하는 target 금속을 기화시킨 후, 기화된 target 금속 원자들을 기판에 떨어트려 응결시켜 고체 박막이 증착되게 만드는 장치를 PVD라고 합니다. PVD는 주로 ‘금속 관련 박막 증착’에 사용되고 있으며, 이 마저도 CVD로 대체되는 중입니다.. 안녕 PVD PVD 특징 PVD는 대체적으로 고온, 고진공 공정입니다. 하지만 Uniformity, Step coverage가 매우 안 좋기 때문에 Sputter 공정 제외하고 잘 사용되지 않습니다. (Sputter는 그나마 Step coverage가 괜찮습니다.) 고온, 고진공인데 왜 Unifo.. 2022. 12. 11. 5.4 증착 공정) 증착 공정 변수, 증착 3대 조건, 증착 3대 문제 증착 공정 변수에 대해서 설명을 해드리겠습니다. 증착 공정 변수 1. Uniformity Wafer 전체에 일정한 두께로 Target material이 증착되어 있는가 에 대한 지표입니다. Uniformity가 좋지 않으면, 개별 칩 간 Vth 등의 특성 차이가 날 수 있습니다. 위 사진의 SiO2 층이 gate oxide면 소자 간 gate oxide 두께가 매우 다르겠죠. 얇으면 터널링이 일어날 수 있고, 너무 두꺼우면 유전 효과가 느려 소자 자체도 느려질 것입니다. 식각에서도 과식각/식각 x 문제로 인하여 후공정에서 오염물질로 작용할 수 있습니다. 2. Step coverage Uniformity가 얼마나 좋냐?를 객관적으로 나타내는 수치입니다. 반도체의 특정 막은 금속 등으로 하부 소자와 상부 소.. 2022. 12. 11. 5.3 증착 공정) CVD 장비 종류, 각 장비 장단점 CVD Intro CVD의 종류는 엄청 다양합니다. 지난 시간에 설명드린 내용이었죠. 관련 내용은 아래 링크 남겨놨습니다. 2022.11.30 - [전자공학/5. Deposition] - 5.2 증착 공정) CVD의 이해(CVD의 모든 것) 5.2 증착 공정) CVD의 이해(CVD의 모든 것) CVD Intro 삼성전자 유튜브에서 'CVD, PVD'는 건물의 '벽돌'라고 비유했습니다. 이 말을 감히 바꿔보면 건물의 벽돌을 쌓아주고 '만들어주는 것'이 PVD, CVD 장비입니다. 벽돌은 우리가 저번 시간에 배웠 yonsekoon.tistory.com CVD 종류는 LPCVD, MPCVD, MOCVD, HDPCVD, CVD, PECVD, APCVD 등으로 엄청 많습니다. 이 세상엔 완벽한 게 없습니다. 빠른.. 2022. 12. 8. 2.4 산화 공정) CMOS에서 사용되는 산화막, 유전체 (USG, PSG, BPSG), 증착 방식 CMOS 산화막 종류 USG(Undoped Silica Glass) 화학식 : TEOS((C2H5O)4Si) + 오존(O3) --> SiO2 불순물이 없다는 것이 가장 큰 장점입니다. BPSG(Borophosphorsilicate Glass) USG 공정에서 TMP(P(CH3O)3), TMB(B(CH3O)3)을 첨가하여 형성시킵니다. BPSG는 SiO2보다 절연 특성이 좋습니다. - 붕소 같은 경우, 850'C 고온에서 열처리를 실시하면 산화 막이 완만하게 되어 하층막 패턴에 의한 단차가 평탄화되기 때문에 사용합니다. - 인 같은 경우, 알칼리 이온을 포획하여 소자 특성에 나쁜 영향을 배제하기 위해 적용됩니다. 붕소 같은 경우는 간혹 수분과 반응하여 BPO4라는 결점을 생성시킬 수도 있기 때문에 PSG로.. 2022. 12. 3. Python) VS code sklearn 에러, 설치 방법, pip install 꿀팁 머신러닝을 배우고자 VS Code에 pip install sklearn을 치면 어떻게 될까요? 아무것도 설치가 되지 않죠. 터미널 창에서 아래 값 입력하시면 됩니다. pip install scikit-learn Numpy, SciPy가 있을 경우 scikit-learn만 설치하는 방법입니다. pip install -U scikit-learn 아나콘다 conda install -c conda-forge scikit-learn scikit-learn requires: Python (>= 3.8) NumPy (>= 1.17.3) SciPy (>= 1.3.2) joblib (>= 1.0.0) threadpoolctl (>= 2.0.0) 위 조건과 잘 맞지 않으면 에러가 뜰 수 있으니 주의해야 합니다. 요구 사항.. 2022. 12. 2. 이전 1 ··· 10 11 12 13 14 15 16 ··· 26 다음 반응형
