반도체 분석장비) Photoluminescence PL 장비
PL은 광학적 특성을 측정하는 장비입니다. 이를 통해 Defect levels, impurity levels, 박막의 quality, target의 파장을 확인할 수 있습니다. PL 측정 용도 PL의 측정 용도는 반도체의 광학적 특성 및 조성, 불순물의 종류와 농도, 결정성, sample의 전자 구조적 특성 및 결함. 발광 특성뿐 아니라 2DEG 특성, 계면의 특성, 절연체 내 이온의 내부 복사전이 여부 등을 측정하는 데 사용합니다. PL에서 측정되어 나오는 파장을 통해 Bandgap과 Strain을 알 수 있고, Intensity의 크기를 통해 optical quality, 즉 surface roughness, excitation power, electric field를 알 수 있고, FWHM을 통해 ..
2023. 1. 2.
